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MEMS芯片 M-01-005
    發(fā)布時間: 2018-08-09 16:37    

依托頂尖的8英寸壓電氮化鋁（AlN）平臺，經過5年持續(xù)投入，開發(fā)的壓電聲壓梯度式超聲芯片。

MEMS芯片 M-01-005


MEMS芯片   M-01-005性能指標

參數

500kHz 芯片

工作原理

壓電氮化鋁

靜態(tài)電容

250pF

擊穿電壓

>100VDC

諧振阻抗

2000Ω

當前芯片尺寸

2.5mmx2.5mm

最大工作耐壓

2MPa